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劢珑科技全球MEMS声学传感器/半导体工艺研发和应用先行者。
8英寸压电MEMS超声传感器晶圆 MEMS超声波传感器芯片 测距模组 满溢模组 气体流量模组 气体流量-小孔径管道 研发合作
MEMS超声呼吸监测模组
产品详情
  • 劢珑科技MEMS超声气体流量检测技术能够适配最小8mm孔径的小管道,最小能够实现0.08L/min的微流量测量,动态范围大,精度高,适配二氧化碳、氧气等常用气体,能够支撑呼吸机、制氧机等气体流量检测需求。