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劢珑科技全球MEMS声学传感器/半导体工艺研发和应用先行者。
8英寸压电MEMS超声传感器晶圆 MEMS超声波传感器芯片 MEMS超声波的轻量级交互模组 超声波MEMS的气体流量计模组
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8英寸压电MEMS超声传感器晶圆
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  •         依托上海微技术工业研究院8英寸超越摩尔中试研发平台，通过成套可量产化流片工艺，制备出高良率基于掺钪氮化铝薄膜材料的8英寸MEMS传感器晶圆。
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